HỆ THỐNG PHÚN XẠ CHÂN KHÔNG – GIẢI PHÁP TẠO MÀNG MỎNG CÔNG NGHỆ CAO
1. Giới thiệu chung
Hệ thống phún xạ chân không ULVAC là thiết bị ứng dụng công nghệ PVD (Physical Vapor Deposition) tiên tiến, được sử dụng để lắng đọng màng mỏng kim loại, màng dẫn điện, màng quang học, ITO, SiOx và các vật liệu chức năng cao trên bề mặt nền.
Với hơn 60 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực chân không công nghiệp, ULVAC mang đến đa dạng dòng thiết bị phún xạ phục vụ cả nghiên cứu – phát triển (R&D) lẫn sản xuất công nghiệp quy mô lớn, đảm bảo chất lượng màng cao, độ bám dính mạnh, đồng nhất tuyệt đối và khả năng tái lặp ổn định.
2. Ưu điểm nổi bật của hệ thống phún xạ chân không ULVAC
- Công nghệ phún xạ tiên tiến cho lớp phủ siêu mịn, tinh khiết và bám dính cao.
- Kiểm soát chính xác quy trình với hệ thống điều khiển PLC & màn hình cảm ứng.
- Đáp ứng linh hoạt nhiều vật liệu nền: thủy tinh, gốm, silicon, nhựa, kim loại.
- Độ chân không cao, giảm tạp chất, tăng độ tinh khiết của màng.
- Tích hợp nhiều công nghệ hiện đại như PVD, CVD, ALD, cho phép tạo quy trình In-Situ mạnh mẽ.
- Phù hợp cho ngành điện tử, bán dẫn, quang học, năng lượng mặt trời, ô tô, vật liệu mới.
3. Các dòng sản phẩm hệ thống phún xạ chân không ULVAC
3.1. Dòng SV – Hệ thống phun kiểu lô dọc
- Thiết kế kiểu lô dọc, phù hợp cho xử lý khối lượng lớn.
- Bao gồm model SV-200 và các loại băng chuyền cho sản xuất hàng loạt.
- Ứng dụng: Mạ đĩa quang, sản phẩm kim loại, lớp phủ trang trí và linh kiện điện tử.
3.2. Dòng SX – Hệ thống phún xạ kiểu loạt
- Là dòng phún xạ kiểu lô nhỏ, chuyên cho nghiên cứu và sản xuất thử nghiệm (pilot).
- Cấu trúc gọn, dễ vận hành và bảo dưỡng.
- Ứng dụng: Phòng thí nghiệm, trung tâm R&D vật liệu, thiết bị điện tử.
3.3. ENTRON™ EX W300 – Hệ thống phún xạ tích hợp đa quy trình
- Cho phép kết hợp PVD, CVD, ALD trong cùng hệ thống.
- Tạo ra quy trình In-Situ hoàn chỉnh, tối ưu năng suất và chất lượng màng.
- Ứng dụng: Bán dẫn, màng siêu mỏng, vật liệu tích hợp tiên tiến.
3.4. MLX™ 3000N – Linh hoạt và hiệu suất chi phí cao
- Được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu phức tạp của khách hàng.
- Nổi bật với tính linh hoạt trong quy trình, kiểm soát vượt trội và hiệu suất chi phí tối ưu.
- Ứng dụng: Sản xuất màng quang học, cảm biến, linh kiện điện tử cao cấp.
3.5. Dòng ULDiS – Hệ thống phún xạ kỹ thuật số MetaMode®
- Áp dụng công nghệ MetaMode® sputter được cấp phép từ JDS Uniphase (Hoa Kỳ).
- Cho phép tạo bộ lọc và lớp phủ quang học chất lượng cao.
- Ứng dụng: Sản xuất màng quang học, lớp phản xạ, thiết bị quang viễn thông.
3.6. Dòng SRH – Hệ thống mạ màng kim loại chuyên dụng
- Dành cho thiết bị điện tử, WL-CSP, UBM hoặc các ứng dụng tương tự.
- Tối ưu cho quy trình mạ kim loại vi mô và đóng gói chip điện tử.
3.7. SME-200E – Hệ thống phún xạ kiểu cụm
- Dùng cho nghiên cứu, phát triển và sản xuất quy mô nhỏ.
- Có thể mở rộng mô-đun và nâng cấp linh hoạt.
- Ứng dụng: R&D vật liệu bán dẫn, linh kiện quang điện.
3.8. CS-200 – Hệ thống phún xạ loại khóa tải
- Dành cho nghiên cứu và sản xuất nhỏ, với cơ chế load-lock giảm ô nhiễm.
- Đảm bảo môi trường chân không ổn định và an toàn.
3.9. ACS-4000 – Hệ thống phún xạ nhỏ gọn, đa lớp
- Dành cho nghiên cứu màng mỏng nhiều lớp, vật liệu hợp chất.
- Điều khiển tự động bằng PC, hỗ trợ đế đường kính tới 4 inch.
- Ứng dụng: Màng chức năng cao, cảm biến, vật liệu siêu dẫn.
3.10. CS-L – Thiết kế mô-đun linh hoạt
- Cho phép sắp xếp tổ hợp mô-đun tùy chọn: Cassette khí quyển, truyền một mảnh, truyền chân không,…
- Tích hợp bộ điều khiển gọn nhẹ, dễ vận hành.
- Ứng dụng: Sản xuất linh kiện điện tử đa lớp và màng phức hợp.
3.11. uGmni-200 / 300 – Hệ thống phún xạ mô-đun tiên tiến
- Trang bị nhiều mô-đun quy trình trên cùng lõi chuyển động, giảm phụ tùng thay thế.
- Tối ưu hiệu suất và đồng bộ giao diện điều khiển giữa các mô-đun.
- Ứng dụng: Sản xuất thiết bị điện tử tiên tiến, vi mạch và cảm biến.
3.12. Dòng SMD – Hệ thống phún xạ đơn đế
- Dùng để lắng đọng màng kim loại, màng ITO.
- Được ULVAC triển khai rộng rãi trong nhiều môi trường sản xuất công nghiệp.
- Ưu điểm: Độ tin cậy cao, phản hồi nhanh từ người dùng thực tế.
3.13. Dòng SCH – Hệ thống phún xạ nằm ngang
- Dành cho lắng đọng màng dẫn điện trong suốt và màng kim loại.
- Ứng dụng: Lớp đệm lưng, lớp chắn trong dây chuyền pin năng lượng mặt trời.
3.14. Dòng SPW – Hệ thống mạ cuộn màng nhựa
- Thiết bị phủ màng mỏng quang học và màng kim loại nhiều lớp trên màng nhựa.
- Sử dụng bộ chia tách khí để xử lý hàng loạt màng chức năng cao.
- Ứng dụng: Vật liệu quang học, màn hình, phim chức năng, thiết bị điện tử tiêu dùng.
4. Ứng dụng thực tế
- Hệ thống phún xạ ULVAC được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực:
- Bán dẫn & điện tử: lắng đọng ITO, Al, Cu, TiN, SiOx, màng dẫn và cách điện.
- Quang học: chế tạo lớp phản xạ, gương, bộ lọc quang học.
- Năng lượng: lớp phủ pin mặt trời, vật liệu pin nhiên liệu.
- Ô tô & công nghiệp: trang trí bề mặt, tăng độ bền và khả năng chống ăn mòn.
- Nghiên cứu & phát triển vật liệu mới trong phòng thí nghiệm và đại học.
Liên hệ ngay với ULVAC Việt Nam để được tư vấn cấu hình phù hợp, nhận báo giá chi tiết và giải pháp công nghệ tối ưu cho dây chuyền sản xuất của bạn.
